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申请/专利权人：常州渊栋电力设备有限公司
摘要：本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉气流导向装置，包括炉体，所述炉体顶部设有上炉室接口，所述炉体上部内侧设有导流罩，所述炉体中部设有坩埚，所述坩埚外侧设有加热装置，所述坩埚下侧设有提升旋转机构，所述炉体上部两侧分别设有进气口及进料口，所述炉体底部设有排气口；所述加热装置包括加热器、保温罩及筒罩，所述保温罩顶部设有气流导向板，所述筒罩设置于加热器外侧；本实用新型设置导流罩确保进气均匀，避免影响结晶效率，真空机在坩埚下侧空腔制造负压，引导废气均匀稳定地从气流导向板及筒罩外侧流动，避免接触加热装置，带走大部分热量，同时确保废气排出可靠，减少氩气消耗，降低生产成本。
主权项：1.一种单晶炉气流导向装置，包括炉体2，其特征在于，所述炉体2顶部设有上炉室接口1，所述炉体2上部内侧设有导流罩7，所述炉体2中部设有坩埚5，所述坩埚5外侧设有加热装置6，所述坩埚5下侧设有提升旋转机构4，所述炉体2上部两侧分别设有进气口8及进料口9，所述炉体2底部设有排气口3；所述加热装置6包括加热器61、保温罩62及筒罩63，所述保温罩62顶部设有气流导向板64，所述筒罩63设置于加热器61外侧，所述筒罩63顶部与气流导向板64底部可拆卸连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州渊栋电力设备有限公司 一种单晶炉气流导向装置
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