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电路属性确定装置以及射频电源系统 

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申请/专利权人:深圳市瀚强科技股份有限公司

摘要:本申请提供一种电路属性确定装置以及射频电源系统,涉及射频技术领域,电路属性确定装置至少用于确定射频源向负载输出电能时的电路属性,电路属性确定装置包括第一信号处理单元、第二信号处理单元、指示单元以及锁存单元;指示单元用于在电压方波信号的电平每次从低电平跳变为高电平时生成一第一脉冲,以得到具有多个第一脉冲的指示信号;锁存单元用于锁存电流方波信号在指示信号的每一第一脉冲的电平,以得到反映电路属性的确定信号,其中,电路属性至少包括感性和容性,在确定信号为低电平时,反映电路属性呈感性;在确定信号为高电平时,反映电路属性呈容性。本申请可迅速确定射频源向负载输出电能时的电路属性。

主权项:1.一种电路属性确定装置,其特征在于,所述电路属性确定装置至少用于确定射频源向负载输出电能时的电路属性,所述电路属性确定装置包括:第一信号处理单元,用于获取所述射频源输出电能时的电压信号,并将所述电压信号转换为电压方波信号;第二信号处理单元,用于获取所述射频源输出电能时的电流信号,并将所述电流信号转换为电流方波信号;指示单元,与所述第一信号处理单元连接,所述指示单元用于在所述电压方波信号的电平每次从低电平跳变为高电平时生成一第一脉冲,以得到具有多个第一脉冲的指示信号;锁存单元,与所述指示单元和所述第二信号处理单元均连接,所述锁存单元用于锁存所述电流方波信号在所述指示信号的每一第一脉冲的电平,以得到反映所述电路属性的确定信号,其中,所述电路属性至少包括感性和容性,在所述确定信号为低电平时,反映所述电路属性呈感性;在所述确定信号为高电平时,反映所述电路属性呈容性。

全文数据:

权利要求:

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