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申请/专利权人：上海工程技术大学
摘要：本发明公开了基于铁基非晶合金高熵合金复合薄膜电极的摩擦纳米发电机及其制备方法，包括：铁基非晶合金带材的厚度为10～30μm，组成按质量百分比计为Si0～6％，B1％～5％，V＜1，Cr0～5％，余量为Fe，裁剪后超声波清洗，干燥，固定到磁控溅射沉积系统进行磁控溅射Al20Cr20Fe20Mo20Ti20合金镀膜，在铁基非晶合金基底上形成非晶状态的高熵合金薄膜，所得复合薄膜剪切为小尺寸薄膜并附着在亚克力板上固定，作为摩擦正电极，聚四氟乙烯薄膜剪切为小尺寸薄膜附着在导电铝箔上固定，作为摩擦负电极，摩擦正负电极组成摩擦纳米发电机。本发明的摩擦纳米发电机器件耐腐蚀性好，可以保证摩擦纳米发电机的高稳定输出性能。
主权项：1.一种铁基非晶合金高熵合金复合薄膜，其特征在于，所述复合薄膜通过铁基非晶合金材料磁控溅射靶材而成；所述铁基非晶合金材料的组成按质量百分比计为：Si0～6％，B1％～5％，V＜1，Cr0～5％，余量为Fe，厚度为10～30μm；所述靶材为Al20Cr20Fe20Mo20Ti20合金。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海工程技术大学 基于铁基非晶合金/高熵合金复合薄膜电极的摩擦纳米发电机及其制备方法
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