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申请/专利权人:SIJ技术株式会社
摘要:本发明的一个实施方式的液滴喷出装置包括:对象物保持部,用于保持对象物;至少一个第一液滴喷出喷嘴,用于喷出第一液滴;多个第二液滴喷出喷嘴,用于使用从所述第一液滴喷出喷嘴喷出的第一液滴来喷出第二液滴,并具有第二前端部分,所述第二前端部分具有比所述第一液滴喷出喷嘴的第一前端部分的第一内径小的第二内径;以及驱动部,控制被所述对象物保持部保持的对象物与所述第二液滴喷出喷嘴的相对位置关系以及所述第一液滴喷出喷嘴与所述第二液滴喷出喷嘴的相对位置关系。
主权项:1.一种液滴喷出装置,其中,包括:对象物保持部,用于保持对象物;至少一个第一液滴喷出喷嘴,用于喷出第一液滴;多个第二液滴喷出喷嘴,用于使用从所述第一液滴喷出喷嘴喷出的第一液滴来喷出第二液滴,且具有第二前端部分,所述第二前端部分具有比所述第一液滴喷出喷嘴的第一前端部分的第一内径小的第二内径;以及驱动部,控制被所述对象物保持部保持的对象物与所述第二液滴喷出喷嘴的相对位置关系以及所述第一液滴喷出喷嘴与所述第二液滴喷出喷嘴的相对位置关系。
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权利要求:
百度查询: SIJ技术株式会社 液滴喷出装置以及液滴喷出方法
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