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申请/专利权人：纳峰真空镀膜(上海)有限公司
摘要：一个用于阴极电弧源的过滤管104a，104b，108包括：具有至少一个弯曲部分104a、104b的过滤管管道，以及用于引导离子通过过滤管管道以从离子中去除大颗粒的第一磁场源；其中，所述设备包括第二磁场源108，其可旋转地安装围绕在过滤管的部分管道上。阴极弧源102和阴极电弧沉积设备106包括本文所述的过滤管，和能够从阴极电弧源中发出的离子束中，过滤掉大颗粒的过滤管。
主权项：1.一种用于阴极电弧源的过滤管，所述过滤管包括：具有在不同平面上的两个弯曲部分的过滤管道，以及第一磁场源，用于引导等离子体通过过滤管道以从过滤中去除大颗粒其中，该过滤管包括第二磁场源，该第二磁场源围绕垂直于过滤管道轴线的轴线方向可旋转地安装在两个弯曲部分之间的过滤管道部分的周围；其中，所述第一磁场源包含导电线圈缠绕在过滤管上超过其50%的长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纳峰真空镀膜(上海)有限公司 改进的阴极电弧源过滤管
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