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申请/专利权人：ASML控股股份有限公司
摘要：一种用于支撑衬底的静电夹具包括衬底区域、在衬底区域的边缘处的电极区域、支撑层、导电层、接触层和电极。支撑层具有本体，该本体具有基本上彼此平行并且设置在本体的相对侧的第一表面和第二表面。通孔被设置在电极区域中并且在第一表面与第二表面之间提供通路。导电层被设置在支撑层的第二表面上。接触层被设置在导电层上。接触层在电极区域中是不间断的并且在衬底区域中包括突节。当静电夹具支撑衬底时，突节接触衬底。电极设置在通孔中并且电耦合到导电层。
主权项：1.一种用于支撑衬底的静电夹具，所述静电夹具包括：衬底区域和在所述衬底区域的边缘处的电极区域；包括本体的支撑层，所述本体包括：设置在所述本体的相对侧的第一表面和第二表面，其中所述第一表面基本上平行于所述第二表面；在所述电极区域中的至少一个通孔，所述通孔被配置为在所述第一表面与所述第二表面之间提供通路，其中所述通孔在所述第二表面处的宽度小于在所述第一表面处的宽度；导电层，设置在所述支撑层的所述第二表面上；接触层，设置在所述导电层上，其中所述接触层在所述电极区域中是不间断的，并且在所述衬底区域中包括突节，并且其中所述突节被配置为当所述静电夹具支撑所述衬底时接触所述衬底；以及电极，设置在所述通孔中并且电耦合到所述导电层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML控股股份有限公司 用于光刻设备的静电夹具
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