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申请/专利权人：苏州芯澈半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及一种套刻误差测量用环形卡盘，包括测量平台，所述测量平台的上方连接有用于同时观察、测量被测结构上表面的顶面显微镜，所述测量平台的下方连接有用于同时观察、测量被测结构下表面的底面显微镜，所述测量平台上连接有沿X轴和Y轴移动的XY轴运动平台，所述XY轴运动平台上连接有与其同步连接的连接件，所述连接件上连接有随连接件同步运动的环形卡盘。本发明可以在双面可见光测量和红外测量的形式下，实现全范围套刻误差测量的问题。
主权项：1.一种套刻误差测量用环形卡盘，包括测量平台5，所述测量平台5的上方连接有用于同时观察、测量被测结构上表面的顶面显微镜1，所述测量平台5的下方连接有用于同时观察、测量被测结构下表面的底面显微镜1，其特征在于：所述测量平台5上连接有沿X轴和Y轴移动的XY轴运动平台，所述XY轴运动平台上连接有与其同步连接的连接件3，所述连接件3上连接有随连接件3同步运动的环形卡盘4；所述环形卡盘4包括环形卡盘主体41，所述环形卡盘主体41为中空结构，沿所述环形卡盘主体41的圆周正面上开设有用于吸附产品的吸附槽43，所述环形卡盘主体41的侧边上开设有与吸附槽43相连通的真空吸附气源接口46，所述环形卡盘主体41的背面上开设有用于吹离测量平台的气浮槽44，所述环形卡盘主体41的侧边上开设有与气浮槽44相连通的气浮气源接口45。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州芯澈半导体科技有限公司 一种套刻误差测量用环形卡盘
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