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MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺 

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申请/专利权人:湖南天羿领航科技有限公司

摘要:本发明公开了一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺,消除零偏方法步骤包括获取MEMS陀螺的振动信号进行过零检测,在零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样后输出;电路包括过零检测电路和ADC采样变换电路,过零检测电路的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,过零检测电路的输出端与ADC采样变换电路的控制端相连,ADC采样变换电路的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连;MEMS陀螺包括前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路。本发明不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,具有检测精确高的优点。

主权项:1.一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法,其特征在于实施步骤包括:1)获取MEMS陀螺的振动信号;2)针对所述振动信号进行过零检测,在振动信号的零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样后输出以利用MEMS陀螺中驱动信号和检测信号相位相差90°特性以及驱动信号不变特性,驱动信号零点正好是角速度信号峰值点以省去乘法解调电路;所述振动信号的函数表达式如式(1)所示;所述混合有正交信号的检测信号的函数表达式如式(2)所示; s1=Asinωt(1) s2=Bsinωt+Csinωt-π2(2)式(1)和式(2)中,s1为振动信号,A为振动信号的幅值,ω为角频率,s2为MEMS陀螺输出的混合有振动正交信号的检测信号,B为耦合的振动信号幅度,C为检测信号的幅度,所述在振动信号的零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样时使得振动信号s1的过零时刻s1=0,此时sinωt=0,并且ωt=0,从而得到MEMS陀螺输出的混合有振动正交信号的检测信号s2=-C。

全文数据:MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺技术领域[0001]本发明涉及MEMS陀螺,具体涉及一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路。背景技术[0002]MEMS陀螺即硅微机电陀螺,其的工作原理可参见图1:当一个物体沿;f方向运动且在Z方向施加角旋转速率时,物体将在y方向受到力,三个方向互相垂直。物体ffi将在y方向受到的力就是哥氏力f,且有f=20QV,其中是物体质量,Q是绕Z轴的角速度,V是水平方向运动速度。参见图2,现在公开的MEMS陀螺信号处理电路通常分2部分,一部分输出振动信号,另外一部分输出检测信号,根据MEMS陀螺的机械特性,振动信号与检测信号相位相差90°,因此需要将振动信号进行90°移相后与检测信号相乘解调出角速度信号,然后做ADC采样变换、滤波、补偿等处理得到最终输出的角速度数字信号。但是,现在公开的电路通过乘法器解调出陀螺角速度信号,对相位特别敏感。0•1°相位误差可能会相当引起1°每秒的零位误差标度l〇mv度每秒为10mv。发明内容[0003]本发明要解决的技术问题:针对现有技术的上述问题,提供一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺,本发明不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,具有检测精确高的优点。[0004]为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法,其实施步骤包括:1获取MEMS陀螺的振动信号;2针对所述振动信号进行过零检测,在振动信号的零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号进行ADC变换采样后输出。[0005]优选地,步骤1中获取MEMS陀螺的振动信号的函数表达式如式(1所示;步骤2中MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号的函数表达式如式2所示;sl=4sin〇t1s2=Bsin〇t+Csint-n22式⑴和式⑵中,si为振动信号,y4为振动信号的幅值,〇为角频率,s2为MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号,S为耦合的驱动信号幅度,C为检测信号的幅度。[0006]优选地,步骤2中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行滤波的步骤。[0007]优选地,步骤2中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行补偿的步骤。[0008]本发明提供一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,包括过零检测电路和ADC采样变换电路,所述过零检测电路的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,所述过零检测电路的输出端与ADC采样变换电路的控制端相连,所述ADC采样变换电路的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连。[0009]优选地,所述ADC采样变换电路的输出端还连接有滤波电路。[0010]优选地,所述ADC采样变换电路的输出端还连接有补偿电路。[0011]本发明提供一种MEMS陀螺,包括带有驱动电路和检测电路的MEMS陀螺本体,所述驱动电路和检测电路的输出端连接有前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,所述驱动电路的输出端与过零检测电路的输入端相连,所述检测电路的输出端ADC采样变换电路的输入端相连。[0012]本发明具有下述优点:针对传统MEMS陀螺信号处理电路对相位特别敏感的缺陷,本发明利用MEMS陀螺中驱动信号和检测信号相位相差90°特性以及驱动信号不变特性,驱动信号零点正好是角速度信号峰值点,在驱动信号零点时刻抽取检测信号幅度,不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,本发明电路与传统的乘法解调电路相比相同条件下0.1°相位误差只引起〇•002°的零位误差标度1Omv度每秒为0.17mv,0.1°的相位误差造成的标度误差也小于〇•2%,具有检测精确高的优点。附图说明[0013]图1为目前MEMS陀螺的工作原理示意图。[0014]图2为现有的MEMS陀螺信号处理电路的框架结构示意图。[0015]图3为本发明实施例电路的框架结构示意图。具体实施方式[0016]本实施例中MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法的实施步骤包括:1获取MEMS陀螺的振动信号;2针对所述振动信号进行过零检测,在振动信号的零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号进行ADC变换采样后输出。[0017]本实施例中,步骤1中获取MEMS陀螺的振动信号的函数表达式如式⑴所示;步骤2中MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号的函数表达式如式2所示;sl=lsinyt1s2=Bsiny£+Csin〇Jt~n22式1和式2中,si为振动信号,为振动信号的幅值,《为角频率,s2为MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号d为耦合的驱动信号幅度,C为检测信号的幅度。因为制造工艺限制,S耦合幅度做不到零,S会引起很大的零位误差和零位漂移,本发明在t=0精确采样,此刻正好是耦合信号的零点并且是有用角速度信号最大值点。参见式(1和式2可知,振动信号si的过零时刻sl=0,此时sinot=0,并且〇t=〇,这时混合有振动信号的检测信号S2=-C,因此可以利用MEMS陀螺中驱动信号和检测信号相位相差90°特性以及驱动信号不变特性,驱动信号零点正好是角速度信号峰值点,在驱动信号零点时刻抽取检测信号幅度,不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差。经试验证明,本实施例的方法与传统的乘法解调电路相比相同条件下0.1°相位误差只引起〇.〇〇2°的零位误差标度lOmv度每秒为0.17mv,0•1°的相位误差造成的标度误差也小于〇•2%,具有检测精确高的优点。[0018]本实施例中,步骤2中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行滤波的步骤。[0019]本实施例中,步骤2中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行补偿的步骤。[0020]如图3所示,本实施例提供一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,包括过零检测仲仙L木忏义伏电嵴』,过苓检测电路丨的输入端与耶肥陀螺的振动信号输出端相连,过零检测电路1的输出端与ADC采样变换电路2的控制端相连,ADC采样变换电路2的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连。[0021]本实施例中,ADC采样变换电路2的输出端还连接有滤波电路3。[0022]本实施例中,ADC采样变换电路2的输出端还连接有补偿电路4。[0023]如图3所示,本实施例提供一种MEMS陀螺,包括带有驱动电路5和检测电路6的MEMS陀螺本体包括振动质量块和驱动选择开关、检测选择开关),驱动电路5和检测电路6的输出端连接有前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,驱动电路5的输出端与过零检测电路1的输入端相连,检测电路6的输出端ADC采样变换电路2的输入端相连。驱动电路5和检测电路6均为现有常规电路,其并不在本实施例MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路的改进之列,故在此不再详述其结构组成,且驱动电路5和检测电路6的实现并不局限于图2和图3所示的特定结构。[0024]以上所述仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

权利要求:1.一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法,其特征在于实施步骤包括:1获取MEMS陀螺的振动信号;2针对所述振动信号进行过零检测,在振动信号的零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样后输出。2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法,其特征在于,步骤丨)中获取MEMS陀螺的振动信号的函数表达式如式(1所示;步骤2中MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号的函数表达式如式2所示;sl^lsinwt1s2=Bsincot+Csinc〇⑵式1和式2中,si为振动信号,4为振动信号的幅值,《为角频率,S2为MEMS陀螺输出的混合有振动正交信号的检测信号,S为耦合的振动信号幅度,c为检测信号的幅度。3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法,其特征在于,步骤2中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行滤波的步骤。4.根据权利要求1所述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法,其特征在于,步骤2中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行补偿的步骤。5.—种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,其特征在于,包括过零检测电路(丨)和ADC采样变换电路2,所述过零检测电路(1的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,所述过零检测电路(1的输出端与ADC采样变换电路2的控制端相连,所述ADC采样变换电路2的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连。6.根据权利要求5所述的ffiMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,其特征在于,所述ADC采样变换电路2的输出端还连接有滤波电路3。7.根据权利要求5所述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,其特征在于,所述ADC采样变换电路2的输出端还连接有补偿电路4。、8•—种MEMS陀螺,包括带有驱动电路5和检测电路6的MEMS陀螺本体,其特征在于:所述驱动电路5和检测电路6的输出端连接有权利要求5〜7中任意一项所述的ffiMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,所述驱动电路(5的输出端与过零检测电路(1的输入端相连,所述检测电路6的输出端ADC采样变换电路2的输入端相连。

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