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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆磨边倒角设备，本发明涉及晶圆加工技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机架，所述底座的顶部中部安装有承载锁定台，所述承载锁定台与机架的表面相连接，所述机架的外缘表面上安装有排屑磨边器。该晶圆磨边倒角设备，通过承载锁定台对待磨边倒角的晶圆片进行承载锁定，并带动晶圆旋转，利用排屑磨边器对晶圆片的边缘进行磨边及倒角的操作，同时，向晶圆片边缘喷洒磨削液，并在旋转力作用下导引磨削液在晶圆边缘流动，有效带走磨削过程中产生的微粒，并通过流体动力学效应减轻刀具与晶圆片接触时的摩擦，减少热量产生，从而提升磨削平整度和晶圆的磨边倒角质量。

主权项：1.一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于，包括底座1，所述底座1的顶部固定安装有机架2，所述底座1的顶部中部安装有承载锁定台3，所述承载锁定台3与机架2的表面相连接，所述机架2的外缘表面上安装有排屑磨边器4，且所述排屑磨边器4对称设置在承载锁定台3的外侧，所述机架2的内侧表面上固定安装有废屑收集箱6，且所述废屑收集箱6位于排屑磨边器4的下方，所述排屑磨边器4的边缘位置上安装有刮杂板5；其中，所述排屑磨边器4包括连接驱动件41，所述连接驱动件41安装在机架2的外缘表面上，所述连接驱动件41的输出端安装有磨边倒角弧板42，所述连接驱动件41的一侧安装有磨削液注入件43，所述磨削液注入件43的输出端延伸至磨边倒角弧板42的内部，以使输送磨削液喷洒向晶圆片边缘；所述磨边倒角弧板42包括弧板421，所述弧板421安装在连接驱动件41的输出端上，所述弧板421的内缘表面中部开设有平面槽423，所述弧板421的内缘表面的边缘位置开设有坡面槽422，以使适配晶圆片的边缘进行磨边倒角处理，所述平面槽423的内壁上开设有排屑槽424，所述排屑槽424用于辅助磨削微粒和磨削液的排放，所述连接驱动件41包括有第二固定板411，所述第二固定板411的一侧表面与机架2的外缘表面相固定，所述第二固定板411的外侧表面上固定安装有横板412，所述横板412远离第二固定板411的内壁上固定安装有气缸413，所述气缸413的输出端端部固定安装有推板414，所述推板414的外缘表面与横板412的内壁相滑动，所述推板414远离气缸413的一端底面固定连接有固定座415，所述固定座415的底面与弧板421的顶部相固定，所述磨削液注入件43包括有磨削液储箱431，所述磨削液储箱431固定安装在横板412靠近第二固定板411的一端内壁上，所述磨削液储箱431的顶部固定安装有注入管434，所述磨削液储箱431的外缘表面上固定安装有连接管432，所述连接管432靠近磨削液储箱431的一端延伸至磨削液储箱431内部且与磨削液储箱431的内壁相固定，所述连接管432远离磨削液储箱431的一端固定连接有抽吸泵433，所述抽吸泵433的底面与弧板421的顶部相固定，所述抽吸泵433的输出端延伸至弧板421内部且与平面槽423相连通，所述抽吸泵433用于输送磨削液。

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