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申请/专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种搬运装置以及硅片加工设备，其中，搬运装置包括：底座、驱动件以及搬运组件。驱动件连接于底座，搬运组件包括两个取放组件，取放组件包括摆臂以及吸附件，摆臂连接于驱动件，吸附件连接于摆臂，且两个摆臂之间具有夹角α，0＜α＜180°，驱动件能够驱动两个摆臂一同转动，以使搬运组件具有能够两个吸附件分别位于第一工位和第二工位的第一状态、以及两个吸附件分别位于第二工位和第三工位的第二状态。因此，在对硅片进行搬运时，能够在将第二工位的硅片搬运至第三工位的同时，将第一工位的硅片搬运至第二工位，从而缩短第二工位的空置时长，以提高硅片加工设备的加工效率。
主权项：1.搬运装置，其特征在于，用于硅片加工设备中硅片的搬运，硅片加工设备具有不在一条直线的第一工位、第二工位和第三工位，且所述第二工位位于所述第一工位和所述第三工位的连线的中垂线上，所述搬运装置包括：底座；驱动件，连接于所述底座；搬运组件，包括两个取放组件，所述取放组件包括摆臂以及吸附件，所述摆臂连接于所述驱动件，所述吸附件连接于所述摆臂，且两个所述摆臂之间具有夹角α，0＜α＜180°，所述驱动件能够驱动两个所述摆臂一同转动，以使所述搬运组件能够具有两个所述吸附件分别位于所述第一工位和所述第二工位的第一状态、以及两个所述吸附件分别位于所述第二工位和所述第三工位的第二状态。
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权利要求：
百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 搬运装置以及硅片加工设备
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