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一种半导体锅炉吊渣装置 

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申请/专利权人:安徽易芯半导体有限公司

摘要:本实用新型公开了一种半导体锅炉吊渣装置,涉及半导体单晶硅生产技术领域,包括:平移机构和垂直连接于所述平移机构底端的吊杆,所述吊杆的底端连接有吊锤,所述吊锤底端设有钨棒,所述平移机构,包括:装配板,所述装配板的底端两侧分别设有固定座,所述固定座之间固定连接有螺纹轴,所述螺纹轴上分别套设有螺纹齿轮和滑动板,所述螺纹齿轮与所述螺纹轴相啮合,所述滑动板与所述螺纹轴活动连接。有益效果:调节钨棒在炉内的浸入点,实现高效去除料渣,提高生产效率,同时解决人工开炉方式存在的弊端。

主权项:1.一种半导体锅炉吊渣装置,其特征在于,包括:平移机构1和垂直连接于所述平移机构1底端的吊杆2,所述吊杆2的底端连接有吊锤3,所述吊锤3底端设有钨棒4,其中;所述平移机构1,包括:装配板5,所述装配板5的底端两侧分别设有固定座6,所述固定座6之间固定连接有螺纹轴7,所述螺纹轴7上分别套设有螺纹齿轮8和滑动板9,所述螺纹齿轮8与所述螺纹轴7相啮合,所述滑动板9与所述螺纹轴7活动连接,所述滑动板9一侧设有驱动电机10,所述驱动电机10的输出轴套设有传动轮11,所述传动轮11与所述螺纹齿轮8套设有传动带12。

全文数据:

权利要求:

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