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一种PVD涂层的真空镀膜装置 

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申请/专利权人:东莞市德隆保纳米科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种PVD涂层的真空镀膜装置,涉及真空镀膜装置技术领域,该PVD涂层的真空镀膜装置,包括镀膜装置主体,所述镀膜装置主体的上端设置有抽真空组件;一种PVD涂层的真空镀膜装置,在对工件进行翻转时,通过两组第二电动伸缩杆的输出端带动电机、辅助板和夹持板对工件进行夹持,接着启动第一电动伸缩杆的输出端带动支撑板和导向孔进行升起,同时带动工件升起,使其脱离放置板的上端,达到设定高度时,通过电机的输出端带动压力传感器、夹持板和工件进行翻转,在夹持板旋转过程中,带动滑块沿着滑槽的内部进行旋转,从而自动对工件进行夹持、升起与翻转,方便工件底部进行镀膜,结构简单,操作便捷,提高镀膜效率。

主权项:1.一种PVD涂层的真空镀膜装置,包括镀膜装置主体1,其特征在于,所述镀膜装置主体1的上端设置有抽真空组件2,所述抽真空组件2包括防尘盒21和真空泵22,所述真空泵22的外侧设置有进气管23和出气管24,所述镀膜装置主体1的内部设置有放置板5、反转调节组件6和调节电压箱7,所述调节电压箱7的上端设置有集液箱8,所述调节电压箱7的内部设置有电压发射器9,所述集液箱8的上端设置喷淋管10,所述喷淋管10的端部安装有喷头11;所述反转调节组件6包括第一电动伸缩杆61,所述第一电动伸缩杆61的输出端设置有支撑板62,所述支撑板62的底部设置有侧板63,所述放置板5的中部开设有导向杆64,所述支撑板62的上端设置有导向孔65,所述导向孔65的一侧安装有第二电动伸缩杆66,所述第二电动伸缩杆66的输出端设置有电机67,所述电机67的外侧设置有辅助板68,所述电机67的输出端设置有夹持板69和压力传感器610,所述夹持板69的一侧设置有滑块611,所述辅助板68的一侧开设有滑槽612。

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