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申请/专利权人：南京航空航天大学
摘要：本发明公开了一种靶材，为TaHfZr‑C靶材，包括TaHfZr合金和C靶材，TaHfZr合金上设置蜂窝孔，蜂窝孔内填充的是C靶材，蜂窝孔的直径与TaHfZr合金的直径之比为1～2:10。本发明公开了一种金属钽表面复合梯度陶瓷涂层的制备方法，包括以下步骤：对金属钽表面进行抛光、清洗，之后进行辉光放电溅射预处理；用双层辉光等离子表面冶金法依次制备Nb‑W中间层，TaHfZr中熵合金层，TaHfZrC稳定防护层。本发明在制备最外层时同时使用蜂窝状的TaHfZr‑C靶材和含CH4气氛提供C源，提升涂层碳化效果，含有少量TaC、HfC和ZrC的梯度陶瓷层，组分均为高熔点碳化物，大幅提升其耐高温性能。
主权项：1.一种靶材，其特征在于：为TaHfZr-C靶材（5），包括TaHfZr合金（51）和C靶材（52），所述TaHfZr合金（51）上设置蜂窝孔，所述蜂窝孔内填充的是C靶材（52），所述蜂窝孔的直径与TaHfZr合金（51）的直径之比为1~2:10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京航空航天大学 一种靶材、金属钽表面复合梯度陶瓷涂层的制法及其所得涂层
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