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申请/专利权人：锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要：一种声表面波器件、射频前端模组及声表面波器件的制造方法，其中，声表面波器件包括压电层和设置在压电层上的至少一个叉指换能器，叉指换能器包括第一金属层和第二金属层，第一金属层和第二金属层层叠设置，且第一金属层位于压电层和第二金属层之间。第一金属层和第二金属层均包括第一金属元素，第一金属元素均为第一金属层和第二金属层的主要成分，第一金属层的密度大于第二金属层的密度。提出的声表面波器件，通过在第二金属层和压电层之间增设第一金属层，且第一金属层的密度大于第二金属层的密度，密度较高的第一金属层，能够有效抑制密度较低的第二金属层的声学迁移现象，从而可以提高声表面波器件的功率耐受性。
主权项：1.一种声表面波器件，其特征在于，包括压电层和设置在所述压电层上的至少一个叉指换能器，所述叉指换能器包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和所述第二金属层层叠设置，且所述第一金属层位于所述压电层和所述第二金属层之间；所述第一金属层和所述第二金属层均包括第一金属元素，所述第一金属元素均为所述第一金属层和所述第二金属层的主要成分，所述第一金属层的密度大于所述第二金属层的密度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锐石创芯(重庆)科技有限公司 声表面波器件、射频前端模组及声表面波器件的制造方法
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