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申请/专利权人：北京奥普托科微电子技术有限公司
摘要：本实用新型提供了一种滤波结构以及半导体检测设备，滤波结构包括固定组件、滤波板以及物镜，固定组件上设置有过光通道，物镜与滤波板分别设置于过光通道的两端；滤波板上开设有通光开口，滤波板遮盖过光通道，以使过光通道内的光仅可从通光开口穿过。相对调节光阑的方式，滤波板上的通光开口可以是各种符合需要的形状，而并非圆形，同时光圈的变化路径也可以根据要求进行调节；相对多孔径旋转轮的方式，占用空间更小，更有利于光路的设计。
主权项：1.一种滤波结构，其特征在于，包括固定组件100、滤波板300以及物镜200，所述固定组件100上设置有过光通道，所述物镜200与所述滤波板300分别设置于所述过光通道的两端；所述滤波板300上开设有通光开口300A，所述滤波板300遮盖所述过光通道，以使所述过光通道内的光仅可从所述通光开口300A穿过；所述固定组件100包括：物镜固定件120，连接有所述物镜200；滤波板固定件110，可拆卸连接有所述滤波板300；以及连接件130，连接所述物镜固定件120与所述滤波板固定件110。
全文数据：
权利要求：
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