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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种极紫外光源滤波装置、方法以及光源输出系统，本发明提供的极紫外光源滤波装置，用于对极紫外光源滤波，包括：依次设置的初级滤波装置和终极滤波装置；初级滤波装置中依次设置第一聚光器件和与第一聚光器件的聚焦光斑尺寸一致的第一通孔，终极滤波装置中依次设置第二聚光器件和尺寸小于第一通孔的第二通孔，第二聚光器件的焦距小于第一聚光器件的焦距；极紫外光源依次经过第一聚光器件、第一通孔、第二聚光器件和第二通孔进行滤波。实现了提高光源的空间相干性，降低光能量的损耗，解决现有等离子体极紫外光源的相干性差，在全息成像方面的应用受限的问题。
主权项：1.一种极紫外光源滤波装置，用于对极紫外光源滤波，其特征在于：包括：依次设置的初级滤波装置和终极滤波装置；所述初级滤波装置中依次设置第一聚光器件和与第一聚光器件的聚焦光斑尺寸一致的第一通孔，所述终极滤波装置中依次设置第二聚光器件和尺寸小于第一通孔的第二通孔，所述第二聚光器件的焦距小于所述第一聚光器件的焦距；所述极紫外光源依次经过所述第一聚光器件、所述第一通孔、所述第二聚光器件和所述第二通孔进行滤波。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 极紫外光源滤波装置、方法以及光源输出系统
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