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申请/专利权人：福建天甫电子材料有限公司

摘要：本发明公开了一种电子级氢氟酸提纯用过滤器，包括：物料输入管；过滤机构，包含安装于物料输入管上的若干个固定导管，固定导管的顶部下侧分别固接有密封环板，所述密封环板的上侧分别安装有密封板，密封板的中部分别密封贯穿安装有相应的排料管，排料管的底部安装有滤芯；安全隔离机构，包含连接于所述固定导管顶部的伸缩管件，所述伸缩管件上固接有环形隔离板，所述排料管的顶部下侧固接有衔接隔离板，所述衔接隔离板与所述环形隔离板之间呈间隔设置；积料清排机构，用于以将隔断阀门上侧的固定导管内的物料清排回流至所述物料输入管内。本发明能够有效确保设备在使用过程中的密封效果，并能够在滤芯更换前，预先对氢氟酸余料进行排空处理。

主权项：1.一种电子级氢氟酸提纯用过滤器，其特征在于，包括：物料输入管（1），所述物料输入管（1）的一端连接到相应的氢氟酸液料源，物料输入管（1）的另一端封闭固接有相应的闭合板（101）；过滤机构（2），包含并排安装于所述物料输入管（1）上的若干个固定导管（201），所述固定导管（201）的顶部下侧分别固接有相应的密封环板（202），所述密封环板（202）的上侧通过螺栓锁紧方式分别可拆卸安装有相应的密封板（203），所述密封板（203）的中部分别密封贯穿安装有相应的排料管（204），所述排料管（204）的底部延伸至所述密封板（203）的下侧并可拆卸安装有相应的滤芯（205）；安全隔离机构（3），包含一体化成型连接于所述固定导管（201）顶部的长度可调伸缩管件（301），所述伸缩管件（301）未连接于所述固定导管（201）的一端分别固接有相应的环形隔离板（302），所述排料管（204）的顶部下侧分别固接有相应的衔接隔离板（303），所述衔接隔离板（303）与所述环形隔离板（302）之间呈间隔设置；通过所述衔接隔离板（303）与环形隔离板（302）之间的间隔处以将对应的固定螺栓锁紧到所述密封板（203）与密封环板（202）之间，然后，对所述伸缩管件（301）进行拉伸使所述环形隔离板（302）的顶面抵接到所述衔接隔离板（303）的底面，并通过相应的锁紧螺栓以对所述环形隔离板（302）和衔接隔离板（303）之间进行锁紧；积料清排机构（4），所述滤芯（205）底侧的固定导管（201）上分别固定安装有相应的隔断阀门（5），所述隔断阀门（5）关闭后，启动所述积料清排机构（4）以将隔断阀门（5）上侧的固定导管（201）内的物料清排回流至所述物料输入管（1）内。

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