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申请/专利权人：苏州港麟微电子有限公司
摘要：本发明涉及硅片吹干技术领域，公开了一种快速吹干花篮和硅片的风刀，包括：风刀主体，设于花篮的一侧，花篮内承载有多个硅片，风刀主体形成的气流与硅片平行，且从相邻的两个硅片之间经过；风刀主体设置在承载架上，风刀主体上设有用于检测气流方向的检测部，在风刀主体形成的气流方向出现偏差时，通过控制部控制驱动部调节风刀主体在承载架上的位置，以使形成的气流与硅片平行。通过风刀主体竖直向下吹出高速的气流，当高速气流经过两个硅片之间时，能够将硅片上的液体带走，高速气流与硅片平行，能够减少对硅片的冲击力，防止对硅片造成损伤；由于气流速度提升，所以气流的温度可采用常温或者比烘干更低的温度，防止高温使硅片的应力变大。
主权项：1.一种快速吹干花篮和硅片的风刀，其特征在于，包括：风刀主体3，设于花篮1的一侧，花篮1内承载有多个硅片2，所述风刀主体3形成的气流与硅片2平行，且从相邻的两个硅片2之间经过；所述风刀主体3设置在承载架6上，所述风刀主体3上设有用于检测气流方向的检测部，在风刀主体3形成的气流方向出现偏差时，通过控制部控制驱动部调节风刀主体3在承载架6上的位置，以使形成的气流与硅片2平行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州港麟微电子有限公司 一种快速吹干花篮和硅片的风刀
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