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申请/专利权人：温州职业技术学院
摘要：本发明涉及离子源技术领域，特指一种线形热丝弧离子源，包括阳极组件和阴极组件，其中阳极组件包括基板，且阴极组件设置于基板的一侧；所述阴极组件包括灯丝和两个灯丝安装架，且灯丝安装架包括安装块以及设置在安装块上的U型管和金属棒，其中灯丝两端分别设置于两个金属棒上，且基板、安装块和U型管由金属制成，并且U型管两端穿过基板并露出，且U型管与基板之间设置有绝缘件。因而本发明通过灯丝发射电子，其该电子与气体碰撞可形成线形等离子体，相比较圆形等离子体，线形等离子体的均匀性更好进而可应用涂层，而且由于是热丝弧离子源，并不采用间隔屏幕，故不存在阳极层离子源的问题，即避免了频繁的定期清洁。
主权项：1.一种线形热丝弧离子源，其特征在于，包括阳极组件和阴极组件，其中阳极组件包括基板（1），且阴极组件设置于基板（1）的一侧；所述阴极组件包括灯丝（2）和两个灯丝安装架（3），且灯丝安装架（3）包括安装块（31）以及设置在安装块（31）上的U型管（32）和金属棒（33），其中灯丝（2）两端分别设置于两个金属棒（33）上，且基板（1）、安装块（31）和U型管（32）由金属制成，并且U型管（32）两端穿过基板（1）并露出，且U型管（32）与基板（1）之间设置有绝缘件（34）；当与点火电源连接的时候，两个U型管（32）一端分别与点火电源的阴阳极连接，从而对灯丝（2）加热进而发射电子，且该电子与气体碰撞可形成线形等离子体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 温州职业技术学院 一种线形热丝弧离子源
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