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申请/专利权人:北京大学
摘要:本实用新型提供一种片上热发射电子源,所述片上热发射电子源包括:衬底;形成在所述衬底表面的至少一个电极对;与所述至少一个电极对对应的至少一个电子发射体,所述电子发射体为丝状电子发射体或片状电子发射体;所述电子发射体的两端分别通过焊接与电极对的两个电极连接,所述电子发射体的中间朝向背离衬底的一侧弯曲,所述电子发射体与衬底之间形成用于减少热量耗散的间隙。本实用新型能够简化电子源的加工流程并降低成本。
主权项:1.一种片上热发射电子源,其特征在于,该片上热发射电子源包括:衬底;形成在所述衬底表面的至少一个电极对;与所述至少一个电极对对应的至少一个电子发射体,所述电子发射体为丝状电子发射体或片状电子发射体;所述电子发射体的两端分别通过焊接与电极对的两个电极连接,所述电子发射体的中间朝向背离衬底的一侧弯曲,所述电子发射体与衬底之间形成用于减少热量耗散的间隙。
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