龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本申请公开了一种TCP设备的石英盖板的镀膜方法，该方法包括：提供一石英盖板，该石英盖板在TCP设备工作时固定在TCP设备的射频线圈的下方，该石英盖板由石英材料构成，其具有正面以及与正面相对的反面，正面是在其工作时与等离子体接触的表面；在石英盖板的正面喷涂三氧化二钇涂层，该三氧化二钇涂层用于当设置有该石英盖板的TCP设备工作时，降低该石英盖板被刻蚀反应气体和或等离子腐蚀的腐蚀度。本申请通过在TCP设备的石英盖板的正面喷涂三氧化二钇涂层，从而当设置有该石英盖板的TCP设备工作时，能够降低该石英盖板被刻蚀反应气体和或等离子腐蚀的腐蚀度，在一定程度上提高了生产效率，降低了生产成本。
主权项：1.一种TCP设备的石英盖板的镀膜方法，其特征在于，包括：提供一石英盖板，所述石英盖板在TCP设备工作时固定在TCP设备的射频线圈的下方，所述石英盖板由石英材料构成，所述石英盖板具有正面以及与所述正面相对的反面，所述正面是在其工作时与等离子体接触的表面；在所述石英盖板的正面喷涂三氧化二钇涂层，所述三氧化二钇涂层用于当设置有所述石英盖板的TCP设备工作时，降低所述石英盖板被刻蚀反应气体和或等离子腐蚀的腐蚀度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 TCP设备的石英盖板及其镀膜方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号