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申请/专利权人：佳能安内华股份有限公司
摘要：一种检查装置，用于检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查装置包括：X射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生X射线的X射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查面发射X射线；以及X射线检测器，被配置为检测从存在于被照射来自所述X射线产生部的X射线的所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的X射线。所述X射线检测器包括长条状的X射线接收器。
主权项：1.一种检查装置，用于检查布置于检查面上的检查对象表面，所述检查装置包括：X射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生X射线的X射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查面发射X射线；以及X射线检测器，被配置为检测从存在于被照射来自所述X射线产生部的X射线的所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的X射线，其中，所述X射线检测器包括长条状的X射线接收器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能安内华股份有限公司 异物检测以及利用荧光X射线的识别装置
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