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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本申请提供了抛光盘及抛光系统，涉及光学元件精密加工技术领域。一种抛光盘，抛光盘的内部具有用于储存抛光液的储存腔，抛光盘的抛光面开设有出液口，出液口通过设置于抛光盘内部的通道与储存腔连通。该抛光盘的储存腔内储存有抛光液，在抛光时，抛光盘的抛光层与元件紧密接触，同时抛光液通过出液口流出，实现抛光液在抛光时均匀分布在元件表面，避免多次停止抛光再喷洒抛光液，提高抛光效率。由于抛光液由储存腔经由出液口流出，使得不同出液口流出的抛光液量和压力大致相等，有助于元件表面的抛光液分布均匀。
主权项：1.一种抛光盘，适用于与回转盘配合以对待抛光元件进行抛光，其特征在于，所述抛光盘的内部具有用于储存抛光液的储存腔，所述抛光盘的抛光面开设有出液口，所述出液口通过设置于所述抛光盘内部的通道与所述储存腔连通；所述抛光盘的抛光面为圆形面，所受抛光面开设有多个出液口，所述多个出液口沿所述抛光面的径向分布；所述多个出液口中的至少两个位于所述抛光面的不同圆周上；所述抛光盘包括依次固定连接的本体、柔性层和抛光层，所述柔性层固定于所述本体靠近所述回转盘一侧的表面，所述抛光层背离所述柔性层的表面为所述抛光面；所述本体包括可拆卸连接的第一壳体和第二壳体，所述第一壳体盖设于所述第二壳体且位于所述第二壳体的上方，所述第一壳体的底面设有第一凹槽，所述第二壳体的顶面设有与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽形成所述储存腔；所述抛光盘还包括密封件，所述第一壳体的底面和或所述第二壳体的顶面设有密封槽，所述密封件设置于所述密封槽内；所述储存腔的内部设有过滤网，所述过滤网设置于所述第一凹槽和所述第二凹槽之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 抛光盘及抛光系统
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