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申请/专利权人：北京燕东微电子科技有限公司
摘要：本公开提供了一种监测晶圆腐蚀液更换周期的方法，包括：获取腐蚀液的测试作业量，测试作业量表征在腐蚀液的腐蚀速率由第一测试腐蚀速率下降至第二测试腐蚀速率期间对应完成的作业量；根据第二测试腐蚀速率与第一测试腐蚀速率之差获得腐蚀速率变化量；根据测试作业量与腐蚀速率变化量之比获得单位速率作业量；根据第一预设腐蚀速率与第二预设腐蚀速率工艺允许下的临界腐蚀速率之差获得腐蚀液的腐蚀速率变化量的预设值；根据单位速率作业量与腐蚀速率变化量的预设值之积获得腐蚀液的预估作业量；根据实际作业量与预估作业量的比较结果，确定是否更换所述腐蚀液。该方法既能充分使用腐蚀液，避免不必要的浪费，又能保证腐蚀质量和作业效率。
主权项：1.一种监测晶圆腐蚀液更换周期的方法，包括：获取腐蚀液的腐蚀速率变化量和测试作业量，所述腐蚀速率变化量是根据第一测试腐蚀速率与第二测试腐蚀速率之差获得，所述测试作业量表征在达到所述腐蚀速率变化量期间对应完成的作业量；根据所述测试作业量与所述腐蚀速率变化量之比，获得单位速率作业量；根据第一预设腐蚀速率与第二预设腐蚀速率之差，获得所述腐蚀液的腐蚀速率变化量的预设值，其中所述第一预设腐蚀速率大于所述第二预设腐蚀速率，所述第二预设腐蚀速率为所述腐蚀液在工艺允许下的临界腐蚀速率；根据所述单位速率作业量与所述腐蚀速率变化量的预设值之积，获得所述腐蚀液的预估作业量；以及根据实际作业量与所述预估作业量的比较结果，确定是否更换所述腐蚀液，其中，根据所述比较结果确定是否更换所述腐蚀液的步骤包括：根据所述预估作业量与预设系数的比值获得校正值，在所述实际作业量达到所述校正值的情况下，确定更换所述腐蚀液。
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