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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明涉及传送单元和包括该传送单元的基板处理装置。一种用于处理基板的装置包括索引模块和处理基板的处理模块。索引模块包括：装载端口，载体被装载在所述装载端口上，所述载体具有接收在其中的多个基板；和传送框架，其设置在所述处理模块与所述装载端口之间，并在装载在所述装载端口上的所述载体与所述处理模块之间传送所述基板。所述处理模块包括：一个或多个工艺腔室；和传送腔室，其将所述基板传送到所述工艺腔室。所述传送腔室包括：壳体，其具有传送空间，在所述传送空间中传送所述基板；传送机械手，其设置在所述壳体中并在所述工艺腔室之间传送所述基板；和静电垫，其设置在所述传送空间中，并静电地吸引所述壳体中的颗粒。
主权项：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：索引模块；和处理模块，所述处理模块配置为处理所述基板，其中，所述索引模块包括：装载端口，载体被装载在所述装载端口上，所述载体具有接收在其中的多个基板；和传送框架，所述传送框架设置在所述处理模块与所述装载端口之间，并配置为在装载在所述装载端口上的所述载体与所述处理模块之间传送所述基板，其中，所述处理模块包括：一个或多个工艺腔室；和传送腔室，所述传送腔室配置为将所述基板传送到所述工艺腔室，以及其中，所述传送腔室包括：壳体，所述壳体具有传送空间，在所述传送空间中传送所述基板；传送机械手，所述传送机械手设置在所述壳体中并配置为在所述工艺腔室之间传送所述基板；静电垫，所述静电垫配置为静电地吸引所述壳体中的颗粒；和驱动单元，所述驱动单元配置为移动所述传送机械手；其中，所述驱动单元包括：主体，所述主体具有形成在其中的开口；密封带，所述密封带面向所述开口、并配置为密封所述开口，其中，与所述传送机械手耦合的托架耦合至所述密封带；和致动器，所述致动器设置在所述主体中、并配置为移动所述密封带，以及其中，所述静电垫位于所述主体中，以与所述开口相邻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 传送单元和包括该传送单元的基板处理装置
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