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一种石英坩埚清洗设备 

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申请/专利权人:江苏复高新材料科技有限公司

摘要:本发明提供的一种石英坩埚清洗设备,属于石英坩埚清洗技术领域,包括机台、直线式输送机构、环形往复式输送机构、移动式喷水机构,直线式输送机构上倒立式放置有坩埚,移动式喷水机构包括挤压簧机构、挤压式喷水管机构、喷头,环形往复式输送机构上设有升降夹持机构,升降夹持机构推动移动式喷水机构进行清洗,升降夹持机构包括连接座、坩埚升降机构、平移式坩埚夹持机构、坩埚清洗开关机构,通过环形输送机构带动坩埚升降机构对坩埚进行夹持上升,然后坩埚清洗开关机构挤压挤压式喷水管机构,实现挤压式喷水管机构的通路,进行持续清洁,通过在挤压簧机构一侧有解锁机构,实现挤压式喷水管机构坩埚清洗开关机构在卡合状态下的分离。

主权项:1.一种石英坩埚清洗设备,其特征在于:包括机台(1)、直线式输送机构(2)、环形往复式输送机构(3)、移动式喷水机构(4),所述直线式输送机构(2)架设于机台(1)上方,所述直线式输送机构(2)上倒立式放置有坩埚,所述环形往复式输送机构(3)设于机台(1)上端面,且位于直线式输送机构(2)的侧端,所述移动式喷水机构(4)设于机台(1)上,所述移动式喷水机构(4)一端设于直线式输送机构(2)、环形往复式输送机构(3)之间,另一端延伸至直线式输送机构(2)上方;所述环形往复式输送机构(3)上设有升降夹持机构(8),所述升降夹持机构(8)推动移动式喷水机构(4)进行清洗;所述移动式喷水机构(4)包括挤压簧机构(5)、挤压式喷水管机构(6)、喷头(7),所述挤压簧机构(5)滑动设于机台(1)上,所述挤压式喷水管机构(6)一端与挤压簧机构(5)连接,另一端延伸至直线式输送机构(2)上端,所述喷头(7)连接于挤压式喷水管机构(6)端头处,且设于直线式输送机构(2)上端;所述升降夹持机构(8)包括连接座(9)、坩埚升降机构(10)、平移式坩埚夹持机构(11)、坩埚清洗开关机构(12),所述连接座(9)阵列式设于环形往复式输送机构(3)上,所述坩埚升降机构(10)设于连接座(9)上,所述平移式坩埚夹持机构(11)设于坩埚升降机构(10)上,所述坩埚清洗开关机构(12)设于平移式坩埚夹持机构(11)下方;在环形往复式输送机构(3)带动坩埚清洗开关机构(12)移动到挤压式喷水管机构(6)处,坩埚清洗开关机构(12)挤压挤压式喷水管机构(6),实现挤压式喷水管机构(6)的通路,并与挤压式喷水管机构(6)卡合,挤压式喷水管机构(6)跟随坩埚清洗开关机构(12)移动,进行持续清洁;所述挤压簧机构(5)一侧设有解锁机构(13),在挤压式喷水管机构(6)移动至解锁机构(13)处时,解锁机构(13)按压挤压式喷水管机构(6),实现挤压式喷水管机构(6)与坩埚清洗开关机构(12)在卡合状态下的分离;所述挤压式喷水管机构(6)包括滑动块(43)、进水管一(44)、进水管二(45)、堵头板(46)、弹簧三(47)、压柱(48),所述滑动块(43)滑动设于机台(1)上,所述进水管一(44)延伸至滑动块(43)内部,所述进水管二(45)与进水管一(44)连通,所述堵头板(46)设于进水管一(44)内,且其上端设于进水管二(45)上部,所述弹簧三(47)设于进水管一(44)内部,且位于堵头板(46)下端,所述进水管一(44)上设有移动槽,所述压柱(48)穿过移动槽并固接于堵头板(46)表面;所述挤压簧机构(5)包括挡板(49)、弹簧二(50),所述挡板(49)固接于机台(1)上,所述弹簧二(50)两端分别与挡板(49)、滑动块(43)连接;所述坩埚清洗开关机构(12)包括固定竖板(51)、弧形板(52),所述固定竖板(51)固接于平移式坩埚夹持机构(11)下端,所述弧形板(52)固接于固定竖板(51)上,所述弧形板(52)的中间部位下端面上设有卡槽(53),所述卡槽(53)与压柱(48)适配;所述解锁机构(13)包括固定撑板(54)、解锁压板(55),所述固定撑板(54)固接于机台(1)上,所述解锁压板(55)固接于固定撑板(54)上,所述解锁压板(55)其中一端延伸出固定撑板(54),所述解锁压板(55)延伸出固定撑板(54)的端面下方为斜向式(39),在压柱(48)移动至解锁压板(55)的斜向式(39)处时,压柱(48)被向下按压,实现压柱(48)与卡槽(53)的分离。

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