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申请/专利权人:TDK株式会社
摘要:本发明涉及一种坩埚、结晶制造方法及单晶。该坩埚G是用于氧化物单晶的生长的坩埚G,且具备沿厚度方向层叠并接合的多个氧化物板G1~G10,各个氧化物板G1~G10中的添加物的浓度不同。结晶制造方法通过一边使晶种接触坩埚内的熔融液的露出表面,一边使露出表面的位置沿铅直方向移动,由此使氧化物单晶生长。在氧化镓的单晶中,沿生长轴方向的添加物的浓度可以优选地设为平均值±5%的范围内。
主权项:1.一种坩埚,其特征在于,所述坩埚用于氧化物单晶的生长,具备主体,所述主体包含含有添加物的氧化物,在所述主体的所述氧化物中,设定沿单轴配置的多个区域,所述多个区域中,第1区域中的所述添加物的浓度高于第2区域中的所述添加物的浓度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: TDK株式会社 坩埚、结晶制造方法及单晶
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