龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及半导体技术领域，提供了一种单晶硅收尾控制方法，包括以下步骤：设定收尾速度并设定晶棒收尾段的基础形状，以收尾速度匀速提拉晶棒；检测收尾段的生成位置的实时收尾直径；计算所述基础形状对应所述生成位置处的设定直径与所述实时收尾直径的直径偏差值，若所述直径偏差值超出直径偏差阈值范围，调整埚跟比和调整收尾温度以使得实时收尾直径趋近所述设定直径。上述的单晶硅收尾控制方法，可使得整个晶棒的缺陷单晶的区域几乎与变径段重合，即将缺陷单晶限定在变径段所在区域内，等径圆柱段底部分几乎为完美单晶，大大提高了完美单晶的比例。
主权项：1.一种单晶硅收尾控制方法，其特征在于，包括以下步骤：设定收尾速度并设定晶棒收尾段的基础形状，以收尾速度匀速提拉晶棒；检测收尾段的生成位置的实时收尾直径；计算所述基础形状对应所述生成位置处的设定直径与所述实时收尾直径之间的直径偏差值，若所述直径偏差值超出直径偏差阈值范围，调整埚跟比和调整收尾温度以使得实时收尾直径趋近所述设定直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新昇半导体科技有限公司 上海新昇晶睿半导体科技有限公司 单晶硅收尾控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号