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隔热体定位夹具、隔热体定位方法及单晶硅的制造方法 

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摘要:隔热体定位夹具对在腔内包围提拉中的单晶硅的隔热体进行定位,具备夹具主体和外周方向定位部,前述夹具主体构成为相对于前述腔的设定位置装卸自如,前述外周方向定位部进行前述隔热体相对于前述夹具主体的外周方向的定位。

主权项:1.一种隔热体定位夹具,对在腔内包围提拉中的单晶硅的隔热体进行定位,其特征在于,具备夹具主体和外周方向定位部,前述夹具主体构成为相对于前述腔的设定位置装卸自如,前述外周方向定位部进行前述隔热体相对于前述夹具主体的外周方向的定位。

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