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摘要：一种定位系统，包括a线性电机，包括可移动磁性单元和线圈定子，所述线圈定子包括一组线圈定子段；其中机械支撑单元机械地耦合到可移动磁性单元；b机械支撑元件，用于在真空腔室内支撑样品；c电源供应器，被配置为独立地将功率供应到线圈定子段中的不同线圈定子段，以引起可移动磁性单元关于线圈定子沿着轴的移动；d减热元件，被配置为降低线圈定子的温度；以及e控制器，被配置为通过控制将功率供应到不同线圈定子段来控制可移动磁性单元的移动。
主权项：1.一种定位系统，包括：线性电机，包括可移动磁性单元和包括一组线圈定子段的线圈定子；机械支撑元件，机械地耦合到所述可移动磁性单元并且被配置为在真空腔室内支撑样品；电源供应器，被配置为独立地将功率供应到所述线圈定子段中的不同线圈定子段，以引起所述可移动磁性单元关于所述线圈定子沿着轴的移动；减热元件，被配置为降低所述线圈定子的温度；以及控制器，被配置为通过控制将功率供应到所述不同线圈定子段来控制所述可移动磁性单元的所述移动。
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