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申请/专利权人：鹰潭市迅宜达科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种键合设备的晶圆传送装置，包括主体机构、固定机构和清洁机构，所述固定机构位于主体机构的上方，所述清洁机构位于主体机构的上方，所述主体机构包括承重底板、液压缸、液压推杆、支撑架、传送带和支撑脚，所述液压缸固定安装在承重底板的上端，所述液压缸均匀分布在承重底板的上端，所述液压推杆固定安装在液压缸上端的传动端。该键合设备的晶圆传送装置，通过对主体机构的安装，使得本实用新型的调节能力有所提升，在实际使用过程中，可以便捷地根据使用需要调节传送带的使用高度，便于匹配不同高度的设备进行使用，调节便利，提高了该键合设备的晶圆传送装置的使用便利性。
主权项：1.一种键合设备的晶圆传送装置，包括主体机构1、固定机构2和清洁机构3，其特征在于：所述固定机构2位于主体机构1的上方，所述清洁机构3位于主体机构1的上方，所述主体机构1包括承重底板101、液压缸102、液压推杆103、支撑架104、传送带105和支撑脚106，所述液压缸102固定安装在承重底板101的上端，所述液压缸102均匀分布在承重底板101的上端，所述液压推杆103固定安装在液压缸102上端的传动端，所述支撑架104固定安装在液压推杆103上端的左右两端，所述传送带105活动安装在支撑架104的中部，所述支撑脚106固定安装在承重底板101的下端，所述支撑脚106均匀分布在承重底板101的下端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鹰潭市迅宜达科技有限公司 一种键合设备的晶圆传送装置
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