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申请/专利权人：深圳市贝特瑞新能源技术研究院有限公司
摘要：本申请提供一种制膜设备，该制膜设备包括真空装置、涂覆装置和退火装置。真空装置包括箱体、真空泵和充气泵，箱体内设有工作腔，真空泵和充气泵均与工作腔连通，且真空泵用于抽出工作腔内的气体，充气泵用于向工作腔内充入惰性气体。涂覆装置安装于工作腔内，且涂覆装置用于在预设的基板上涂覆膜层；退火装置安装于工作腔内，且退火装置用于对涂覆有膜层的基板进行退火处理。其中，退火装置位于涂覆装置的一侧，且退火装置和涂覆装置之间的间距小于或等于5厘米。本申请提供的制膜设备能够解决现有钙钛矿薄膜在制备时容易与空气中的杂质接触、进而影响质量的技术问题。
主权项：1.一种制膜设备，其特征在于，包括：真空装置，所述真空装置包括箱体、真空泵和充气泵，所述箱体内设有工作腔，所述真空泵和所述充气泵均与所述工作腔连通，且所述真空泵用于抽出所述工作腔内的气体，所述充气泵用于向所述工作腔内充入惰性气体；涂覆装置，所述涂覆装置安装于所述工作腔内，且所述涂覆装置用于在预设的基板上涂覆膜层；以及，退火装置，所述退火装置安装于所述工作腔内，且所述退火装置用于对涂覆有膜层的所述基板进行退火处理；其中，所述退火装置位于所述涂覆装置的一侧，且所述退火装置和所述涂覆装置之间的间距小于或等于5厘米。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市贝特瑞新能源技术研究院有限公司 一种制膜设备
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