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申请/专利权人：中国科学院金属研究所
摘要：本实用新型涉及传感器测试领域，具体涉及一种热电‑压阻型传感器性能测试装置和测试方法。该装置包括温控系统、高精度机械位移系统、六轴位移台、压力传感器、压力表、多通道万用表以及上位机。利用上述装置可以测试热电‑压阻型传感器的温度传感灵敏度，压力传感灵敏度，温度传感响应时间和压力传感响应时间。
主权项：1.一种热电-压阻型传感器性能测试装置，其特征在于，包括：温控系统、高精度机械位移系统、六轴位移台、压力传感器、压力表、多通道万用表以及上位机；所述温控系统包括：铜块、加热棒、第一温控仪、热敏电阻、制冷片、第二温控仪、水冷台和水冷机；所述六轴位移台位于底部，压力传感器固定在六轴位移台上并与压力表连接；水冷台固定在压力传感器上并通过管道连接水冷机；制冷片通过导热硅脂紧贴在水冷台上并与第二温控仪连接，热敏电阻设置在制冷片表面并与第二温控仪连接；待测传感器紧贴于制冷片上并与多通道万用表连接；铜块设置于待测传感器上方，铜块内部嵌有一根集成测温热电偶的加热棒，所述加热棒和测温热电偶都与第一温控仪连接；所述铜块通过铜块固定杆与高精度机械位移系统连接，并在高精度机械位移系统带动下沿垂直待测传感器方向上下移动；所述上位机分别与第一温控仪、第二温控仪、万用表、压力表以及高精度机械位移系统连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院金属研究所 一种热电-压阻型传感器性能测试装置
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