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申请/专利权人：贵研功能材料(云南)有限公司;上海泽丰半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种可精准矫平探针用贵金属超薄带材装置及其矫平方法。所述装置包括炉体、矫平模块、真空系统和电源控制系统，其中，所述矫平模块包括薄带张紧机构和薄带压紧机构；所述薄带张紧机构包括用于支撑薄带的耐热钢平板、导向滚轴支架和导向滚筒以及薄带的张紧滚筒；所述薄带压紧机构包括带定位孔的石英玻璃板，以及应用于可精准矫平探针用贵金属超薄带材装置的矫平方法，可以制备出具有非常平整的探针用贵金属超薄带材。
主权项：1.一种可精准矫平探针用贵金属超薄带材装置，其特征在于，所述装置包括炉体、矫平模块、真空系统和电源控制系统，其特征在于，所述炉体包括炉壳、炉门和底座支架；所述矫平模块固定安装在所述炉门上，所述矫平模块包括薄带张紧机构和薄带压紧机构；所述薄带张紧机构包括用于支撑薄带的耐热钢平板、导向滚轴支架和导向滚筒以及薄带的张紧滚筒；所述薄带压紧机构包括带定位孔的石英玻璃板。
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