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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了高灵敏度悬架二维纳米生物分子传感器及其用途。该传感器包括衬底层、电极层和多条石墨烯条带，衬底层包括上下布置的二氧化硅层和硅层，衬底层上形成有上部敞口且下部封闭的沟槽，沟槽由二氧化硅层延伸至硅层；电极层包括设在二氧化硅层上的源极、漏极和栅极，源极和漏极分设在沟槽相对的两侧，栅极不与源极和漏极接触；多条石墨烯条带间隔且悬空设置于沟槽上方，每条石墨烯条带的一端位于源极和二氧化硅层之间、另一端位于漏极和二氧化硅层之间。使用该传感器可有效解决因bio‑FET中衬底存在的原因导致检测灵敏度下降、有效传感面积受限及分子结合力弱等问题，同时在传感器中布置多条间隔的石墨烯条带可进一步增加生物分子检测通量。
主权项：1.一种高灵敏度悬架二维纳米生物分子传感器，其特征在于，包括：衬底层，所述衬底层包括上下布置的二氧化硅层和硅层，所述衬底层上形成有上部敞口且下部封闭的沟槽，所述沟槽由所述二氧化硅层延伸至所述硅层；电极层，所述电极层包括设在所述二氧化硅层上的源极、漏极和栅极，所述源极和所述漏极分设在所述沟槽相对的两侧，所述栅极不与所述源极和所述漏极接触；多条石墨烯条带，多条所述石墨烯条带间隔且悬空设置于所述沟槽上方，且每条所述石墨烯条带的一端位于所述源极和所述二氧化硅层之间、另一端位于所述漏极和所述二氧化硅层之间；第一外部电路，所述第一外部电路包括第一电源和第一电表，所述第一电源两端分别与所述源极和所述漏极相连；第二外部电路，所述第二外部电路包括第二电源和第二电表，所述第二电源的一端与所述源极或漏极相连、另一端与所述栅极相连，其中，单条所述石墨烯条带的悬空长度为1～3μm，悬空宽度为1～2μm，相邻两条所述石墨烯条带的间距为3～5μm；所述电极层的厚度为100～150nm，所述源极、所述漏极和所述栅极的长度分布独立地为40～60μm、宽度分布独立地为25～35μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 高灵敏度悬架二维纳米生物分子传感器及其用途
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