买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：株式会社迪思科

摘要：提供激光加工装置的光轴确认方法，能够定量地判断从多个光学元件沿着铅垂方向反射的激光束的光轴是否存在于与加工行进方向平行的同一平面上。激光加工装置的光轴确认方法包含如下的步骤：拍摄单元配设步骤ST1，将拍摄单元配设成能够沿X轴方向移动；第一拍摄步骤ST2，取下第二反射镜，利用能够接收被第一反射镜反射的激光束的拍摄单元对激光束进行拍摄；第二拍摄步骤ST3，安装第二反射镜，利用能够接收被第三反射镜反射的激光束的拍摄单元对激光束进行拍摄；以及判定步骤ST4，根据拍摄图像和形成在拍摄图像内的基准线，判定被第一反射镜反射的激光束的光轴和被第三反射镜反射的激光束的光轴是否存在于相同的XZ平面内。

主权项：1.一种激光加工装置的光轴确认方法，确认激光加工装置的光轴，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光束照射单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光束而实施加工；以及移动单元，其使该卡盘工作台和该激光束照射单元在X轴方向和与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地移动，其中，该激光束照射单元包含：第一光学元件，其与垂直于XY平面的规定的XZ平面具有交线，并向与该XZ平面平行的方向反射激光束；激光振荡器，其配设成以与该交线交叉的方式射出激光束；第二光学元件，其反射被该第一光学元件反射的激光束而在该XZ平面内转换该激光束的行进方向；以及第三光学元件，其将由该第二光学元件转换了行进方向的激光束向与该规定的XZ平面平行的方向反射，该激光加工装置的光轴确认方法具有如下的步骤：拍摄单元配设步骤，将能够拍摄该激光束的拍摄单元配设成能够沿该X轴方向移动；第一拍摄步骤，取下该第二光学元件，将拍摄单元定位于能够接收被该第一光学元件反射的该激光束的第一位置，并且利用该拍摄单元对从该激光振荡器射出的该激光束进行拍摄；第二拍摄步骤，安装该第二光学元件，将该拍摄单元定位于能够接收被该第三光学元件反射的该激光束的第二位置，并且利用该拍摄单元对从该激光振荡器射出的该激光束进行拍摄；以及判定步骤，根据在该第一拍摄步骤中拍摄到的第一拍摄图像中的该激光束的位置与形成于该第一拍摄图像的与该X轴方向平行的基准线的偏移量和在该第二拍摄步骤中拍摄到的第二拍摄图像中的该激光束的位置与形成于该第二拍摄图像的与该X轴方向平行的基准线的偏移量，判定被该第一光学元件反射的激光束的光轴和被该第三光学元件反射的激光束的光轴是否存在于相同的XZ平面内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 激光加工装置的光轴确认方法