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申请/专利权人：无锡中科德芯感知科技有限公司;中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明公开了一种用于锌扩散的装置及锌扩散方法、系统、电子设备及介质，其中，用于锌扩散的装置的腔体底部用于放置红外焦平面探测器；加热组件、扩散源气盒和导气容器设于腔体内部；加热组件设于腔体内部；扩散源气盒设于腔体上方；导气容器设于扩散源气盒内；导气容器连通用于输送含锌金属化合物的外部管道；导气容器底部设有多个通孔；扩散源气盒底部设有通气孔；加热组件用于提高腔体内温度。本发明通过导气容器底部的通孔，将含锌金属化合物均匀地扩散至扩散源气盒中，含锌金属化合物再均匀地从扩散源气盒底部的通气孔，扩散至红外焦平面探测器上，扩散工艺简单，且能实现均匀的扩散效果。
主权项：1.一种用于锌扩散的装置，其特征在于，所述用于锌扩散的装置包括腔体、加热组件、扩散源气盒和导气容器；所述腔体底部用于放置红外焦平面探测器；所述加热组件、所述扩散源气盒和所述导气容器设于所述腔体内部；所述加热组件设于所述腔体内部；所述扩散源气盒设于所述腔体上方；所述导气容器设于所述扩散源气盒内；所述导气容器连通用于输送含锌金属化合物的外部管道；所述导气容器底部设有多个通孔，以使所述含锌金属化合物扩散至所述扩散源气盒中；所述扩散源气盒底部设有通气孔，以使所述含锌金属化合物扩散至所述红外焦平面探测器；所述加热组件用于提高所述腔体内温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡中科德芯感知科技有限公司 中国科学院上海技术物理研究所 用于锌扩散的装置及锌扩散方法、系统、电子设备及介质
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