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申请/专利权人：安徽膜感科技有限公司
摘要：本发明提供一种薄膜传感器动态力学标定方法，属于薄膜传感器标定技术领域，包括以下步骤：S10、搭建标定装置：所述标定装置包括落杆支架、竖向设置在落杆支架上且能够自由落体的落杆、用于固定贴合薄膜传感器于标准传感器上的固定底座以及用于测量落杆对薄膜传感器和标准传感器施加的瞬态力值的压电测量模块；本发明还提供了一种薄膜传感器动态力学标定装置。本发明在充分了解薄膜传感器的结构及性能的基础上，针对现在薄膜传感器标定方法的不足，提出一种针对微米、亚微米级厚度的薄膜类压力传感器的标定方法及标定装置，可以用小体积装置完成标定工作，可以实现定量化控制冲击载荷大小，可以快速、高效、准确的完成标定。
主权项：1.一种薄膜传感器动态力学标定方法，其特征在于，包括以下步骤：S10、搭建标定装置：所述标定装置包括落杆支架、竖向设置在落杆支架上且能够自由落体的落杆、用于固定贴合薄膜传感器于标准传感器上的固定底座以及用于测量落杆对薄膜传感器和标准传感器施加的瞬态力值的压电测量模块；S20、提拉所述落杆至一定高度并释放落杆，使所述落杆做自由落体运动撞击到所述薄膜传感器和标准传感器；S30、由所述压电测量模块获取落杆撞击薄膜传感器瞬时产生的冲击力大小，同时，获取薄膜传感器的输出电荷；S40、提拉所述落杆至与S20同样高度，周向旋转落杆一定角度，释放落杆使落杆做自由落体运动撞击所述薄膜传感器和标准传感器，并获取薄膜传感器所受冲击力大小和输出电荷，重复旋转落杆并进行标定实验，直至落杆旋转一周；S50、改变所述落杆的实验条件，获得不同实验条件下所述薄膜传感器所受冲击力大小和输出电荷，利用最小二乘法对若干次测量结果进行拟合，获得薄膜传感器的力电系数的标定结果。
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百度查询： 安徽膜感科技有限公司 一种薄膜传感器动态力学标定方法及装置
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