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一种抛光液用氧化铈基磨料及其制备方法和应用 

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申请/专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所

摘要:本发明公开了一种抛光液用氧化铈基磨料及其制备方法和应用,属于抛光液技术领域,制备方法包括:1制备磁性粒子悬浮液,调节pH至7.5~9,搅拌升温至40~50℃,再加入硅源,反应后得到SiO2包覆的磁性粒子,其中磁性粒子为铁钴氧体、镍铁氧体、锰铁氧体、γ‑Fe2O3或CoNi合金;2制备SiO2包覆的磁性粒子悬浮液,调节pH至8~9,搅拌升温至70~90℃,再加入铈源和钛源反应,反应过程中维持体系pH为8~9,反应结束后得到抛光液用氧化铈基磨料。该氧化铈基磨料包括三层结构,内层为磁性粒子,中层为二氧化硅,外层为二氧化钛掺杂氧化铈,三层结构之间协同发挥作用,抛光效率高。

主权项:1.一种抛光液用氧化铈基磨料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1制备磁性粒子悬浮液,调节磁性粒子悬浮液的pH至7.5~9,搅拌升温至40~50℃,再加入硅源,反应后得到SiO2包覆的磁性粒子,所述的磁性粒子为铁钴氧体、镍铁氧体、锰铁氧体、γ-Fe2O3或CoNi合金;2制备SiO2包覆的磁性粒子悬浮液,调节SiO2包覆的磁性粒子悬浮液的pH至8~9,搅拌升温至70~90℃,再加入铈源和钛源反应,反应过程中维持体系pH为8~9,反应结束后得到所述的抛光液用氧化铈基磨料。

全文数据:

权利要求:

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