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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种多范围拉晶压力的控制方法，属于拉晶电气控制技术领域，通过在所述真空泵的入口设置单向阀，使得真空泵中的水不会因压差的问题逆流至单晶炉中，且不影响气体的吸入，进而不会造成单晶炉内氧化，且不影响单晶炉内压力调节。
主权项：1.一种多范围拉晶压力的控制方法，利用压力控制装置控制，其特征在于，所述压力控制装置包括控制器、真空泵、炉体，所述真空泵的入口设置单向阀，所述控制器与所述真空泵电性连接，所述真空泵的入口与所述单向阀的一端连接，所述单向阀的另一端与所述炉体连接，以使所述炉体内的流体仅能从单晶炉内流入真空泵中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 多范围拉晶压力的控制方法
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