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申请/专利权人：电子科技大学长三角研究院(湖州)
摘要：本发明提供一种等离子体辅助锂金属表面制备固态电解质膜的方法，首先将锂片放在一个石英管内，并保证石英管的无氧环境，然后将反应源放入另一个石英管内，液态反应源或固态反应源进行加热挥发处理，然后将两个石英管连接并在抽真空条件下进行连通，两个石英管连接等离子体设备，利用等离子体辅助化学气相沉积技术在锂片表面生成一层SEI膜。本发明将锂金属与等离子体激发源分开放置，置于不同的温区，并同时隔绝空气。利用PECVD在常温无氧环境下一步在锂表面快速制备出均匀的SEI膜，并保证锂片的完整性。且该方法操作简单，可控性好，没有副反应，效率高。
主权项：1.一种等离子体辅助锂金属表面制备固态电解质膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、在手套箱内，将锂片放入石英管A中，并保证锂片始终处于无氧环境；步骤2、当反应源为液态或固态时，将反应源置于石英管B内，加热石英管B至反应源可挥发的温度；当反应源为气态时，向石英管B内通入反应源；步骤3、将石英管A与石英管B连接在一起，抽真空条件下，将石英管A和石英管B连通，形成石英管组；步骤4、将石英管组的两端分别连接等离子体设备的正负极，利用等离子体辅助化学气相沉积技术在锂片表面生成一层SEI膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学长三角研究院(湖州) 一种等离子体辅助锂金属表面制备固态电解质膜的方法
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