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多重自动光学复判系统以及多重自动光学复判方法 

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申请/专利权人:由田新技股份有限公司

摘要:本发明揭示一种多重自动光学复判系统以及多重自动光学复判方法,多重自动光学复判系统由外部接收一检测信息与对应该检测信息的一待测物,该系统包括一光源装置、一影像撷取装置以及一瑕疵筛选模组。该光源装置包括一激发光源以及一白光光源,以分别提供激发光及白光至一检测范围上的该待测物。该影像撷取装置根据该检测信息拍摄该待测物上对应的一瑕疵区域,以分别获得一荧光成分影像与一白光成分影像。该瑕疵筛选模组接收并判断该荧光成分影像与该白光成分影像是否为真实瑕疵影像,以分别产生一荧光复判结果与一白光复判结果。本发明可相容于各种不同规格的AOI设备的检测信息,并且获得齐一化的复检影像与检测信息。

主权项:1.一种多重自动光学复判系统,其特征在于,由外部接收一检测信息与对应该检测信息的一待测物,该系统包括:一光源装置,包括一激发光源以及一白光光源,以分别提供激发光及白光至一检测范围上的该待测物;一影像撷取装置,根据该检测信息,拍摄该待测物上对应的一瑕疵区域,以分别获得一荧光成分影像与一白光成分影像;以及一瑕疵筛选模组,接收并判断该荧光成分影像与该白光成分影像是否为真实瑕疵影像,以分别产生一荧光复判结果与一白光复判结果。

全文数据:

权利要求:

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