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申请/专利权人：福建天甫电子材料有限公司

摘要：本发明涉及灌装系统领域，且公开了一种单通道HF水溶液灌装系统及其方法，有效的解决了目前超纯氟化氢和超纯水进料时，可能造成部分氟化氢挥发的问题，包括筒体，所述筒体的底端安装有排料管，排料管上安装有排料阀，筒体的两侧对称安装有原料进料组件，筒体的内部安装有混合防挥发组件，筒体的顶端安装有压力调节组件，原料进料组件包括对称安装于筒体两侧的侧管，侧管的顶端安装有进料管，其中一个进料管用于向筒体内部通入超纯氟化氢，本发明在存在反流时，原料作用在第二活动块靠近筒体的一侧，在推力和第一弹簧的弹力作用下，将第一活动块与限位环压紧，从而将进料槽一端紧闭，从而避免反流，方便使用。

主权项：1.一种单通道HF水溶液灌装系统，包括筒体（1），其特征在于：所述筒体（1）的底端安装有排料管（2），排料管（2）上安装有排料阀（3），筒体（1）的两侧对称安装有原料进料组件（4），筒体（1）的内部安装有混合防挥发组件（5），筒体（1）的顶端安装有压力调节组件（6）；原料进料组件（4）包括对称安装于筒体（1）两侧的侧管（401），侧管（401）的顶端安装有进料管（402），其中一个进料管（402）用于向筒体（1）内部通入超纯氟化氢，另一个进料管（402）用于向筒体（1）内部通入超纯水；侧管（401）的内部安装有两个限位环（403），两个限位环（403）均位于进料管（402）靠近筒体（1）的一侧，两个限位环（403）之间设有第一活动块（404），第一活动块（404）的外壁与侧管（401）的内部紧贴，第一活动块（404）靠近筒体（1）的一端安装有第二活动块（405），第二活动块（405）靠近筒体（1）的一端位于限位环（403）的内部，第一活动块（404）靠近筒体（1）的一端安装有第一弹簧（406），第一弹簧（406）的一端与限位环（403）固定连接；第二活动块（405）的内部开设有内槽（407），内槽（407）的一端贯穿至第一活动块（404）的内部，内槽（407）的外侧等角度开设有进料槽（408），进料槽（408）的一端贯穿至第一活动块（404）远离筒体（1）的一侧，且进料槽（408）的一端与远离筒体（1）一侧的限位环（403）紧贴，第二活动块（405）靠近筒体（1）的一端开设有出料槽（409），出料槽（409）与内槽（407）相连通，出料槽（409）的内部安装有进料比例调节单元（410）；所述进料比例调节单元（410）包括安装于出料槽（409）内顶壁上的固定挡板（4101），固定挡板（4101）呈半圆形，固定挡板（4101）的圆心处安装有中部块（4102），中部块（4102）的内部开设有限位转槽（4103），固定挡板（4101）远离筒体（1）的一侧设有连接杆（4104），连接杆（4104）靠近筒体（1）的一端安装有限位转块（4106），限位转块（4106）转动安装于限位转槽（4103）的内部，连接杆（4104）靠近筒体（1）的一端安装有活动挡板（4105），活动挡板（4105）设置呈半圆形，活动挡板（4105）的外壁与出料槽（409）的内部紧贴，活动挡板（4105）位于固定挡板（4101）远离筒体（1）的一侧，且活动挡板（4105）与固定挡板（4101）紧贴。

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