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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司;洛桑联邦理工学院
摘要：一种用于操作光学显微镜的方法，包括从一个或多个光源1向样本定位位置6A发射和引导作为多个照射光束的照射光2，在样本定位位置处6A形成多个分离的照射光点2A、2B、2C、2D；以及将来自样本定位位置6A的照射光点2A、2B、2C、2D的探测光束11引导到包括多个传感器阵列31‑34的探测器10。每个传感器阵列31‑34包括光子计数探测器元件40，并且探测光束11在传感器阵列31‑34上形成多个光点15，其中来自样本定位位置6A处的不同照射光点2A、2B、2C、2D的探测光束10被引导到不同的传感器阵列31‑34。分析来自传感器阵列31‑34的测量信号以确定关于传感器阵列31至34上的光点15的位置信息。在调整过程中，基于位置信息调整光点15撞击传感器阵列31‑34的位置。还公开了相应的光学显微镜。
主权项：1.一种用于操作光学显微镜的方法，包括-从一个或多个光源1向样本定位位置6A发射和引导照射光2作为多个照射光束，并在样本定位位置6A处形成多个分离的照射光点2A、2B、2C、2D；以及-将来自所述样本定位位置6A处的照射光点2A、2B、2C、2D的探测光束11引导到包括多个传感器阵列31-34的探测器10，其中每个传感器阵列31-34包括光子计数探测器元件40，并且所述探测光束11在所述传感器阵列32-34上形成多个光点15，其中来自所述样本定位位置6A处的不同照射光点2A、2B、2C、2D的探测光束11被引导到不同的传感器阵列31-34；其特征在于：分析来自传感器阵列31-34的测量信号以确定关于传感器阵列31至34上的光点15的位置信息，以及基于位置信息调整光点15撞击传感器阵列31-34的位置的调整过程。
全文数据：
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百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 洛桑联邦理工学院 具有多个光子计数探测器元件阵列的方法和光学显微镜
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