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申请/专利权人：国家纳米科学中心
摘要：本发明涉及一种表面增强拉曼芯片，所述表面增强拉曼芯片包括衬底，设置于衬底一侧表面的纳米柱阵列；所述衬底表面及纳米柱阵列的表面覆盖金属层；所述衬底表面的金属层以及纳米柱阵列的顶面金属层，覆盖有钝化层。所述表面增强拉曼芯片的结构简单，通过本领域常规方法即可制备，该表面增强拉曼芯片的结构能够提高纳米柱阵列的侧壁利用率，具有活性强、稳定性好以及重现性高等优势，便于在物质检测领域中的推广应用。
主权项：1.一种表面增强拉曼芯片，其特征在于，所述表面增强拉曼芯片包括衬底，设置于衬底一侧表面的纳米柱阵列；所述衬底表面及纳米柱阵列的表面覆盖金属层；所述衬底表面的金属层以及纳米柱阵列的顶面金属层，覆盖有钝化层；所述纳米柱阵列的侧壁只覆盖金属层；覆盖纳米柱阵列表面的金属层包括顶面金属层与侧壁金属层，所述顶面金属层的厚度为60-200nm，侧壁金属层厚度为60-200nm；所述钝化层的厚度为0.5-30nm；所述钝化层的材质包括二氧化硅、氮化铝、氧化镁或氧化铝中的任意一种或至少两种的组合；所述纳米柱阵列的侧壁金属层用于设置敏感探针；所述纳米柱阵列中，纳米柱的顶面形状为正六边形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国家纳米科学中心 一种表面增强拉曼芯片
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