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申请/专利权人：北京市科学技术研究院城市安全与环境科学研究所
摘要：本发明涉及微纳机械系统技术领域，尤其涉及一种双轴仿毛发传感器。该双轴仿毛发传感器包括依序连接的毛发结构、导向机构层、放大机构层和底层信号层；导向机构层，设有第一动平台，第一动平台连接于毛发结构的根部，第一动平台连接有约束单元，约束单元能沿X轴方向和Y轴方向对第一动平台施加约束；放大机构层，设有第二动平台，第二动平台与第一动平台连接，第二动平台的周围设有若干组多级放大单元，各组多级放大单元分别连接有谐振器；底层信号层，与各个谐振器信号连接。该双轴仿毛发传感器能有效降低传感器的系统结构复杂度，并提高对外界信息的感知灵敏度，进而实现对流速、加速度等物理量的高灵敏度检测。
主权项：1.一种双轴仿毛发传感器，其特征在于，包括：依序连接的毛发结构、导向机构层、放大机构层和底层信号层；所述导向机构层，设有第一动平台，所述第一动平台连接于所述毛发结构的根部，所述第一动平台连接有约束单元，所述约束单元能沿X轴方向和Y轴方向对所述第一动平台施加约束；所述放大机构层，设有第二动平台，所述第二动平台与所述第一动平台连接，所述第二动平台的周围设有若干组多级放大单元，各组所述多级放大单元分别连接有谐振器；所述底层信号层，与各个所述谐振器信号连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京市科学技术研究院城市安全与环境科学研究所 双轴仿毛发传感器
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