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申请/专利权人：株式会社国际电气
摘要：本发明提供一种结构，具备：基板保持件，其在载置有基板的状态下插入处理室；旋转机构，其使基板保持件旋转；基板温度传感器，其在基板保持件旋转时与基板同样地旋转，且测量基板的温度；发送机，其在处理室的外侧与基板温度传感器连接，且构成为与基板同样地旋转；接收机，其接收从发送机输出的信号；以及控制器，其与该接收机连接。
主权项：1.一种基板温度传感器，其为温度控制系统中的基板温度传感器，该温度控制系统具有与基板同样地旋转并且测量基板的温度的所述基板温度传感器、构成为与该基板温度传感器连接且与所述基板同样地旋转的发送机以及接收从该发送机输出的信号的接收机，该基板温度传感器的特征在于，设于保护管内，该保护管设置于切口，该切口设于在载置有所述基板的状态下插入处理室的基板保持件的至少底板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社国际电气 基板温度传感器、基板保持件、基板处理装置以及半导体装置的制造方法
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