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一种用于硅片切割主轴的三重密封轴端防护结构 

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申请/专利权人:巨星传动科技(无锡)股份有限公司

摘要:本实用新型提供了一种用于硅片切割主轴的三重密封轴端防护结构,包括轴套;所述轴套转动连接有轴芯。通过第一密封块可实现初步密封,通过密封座能够实现第一密封块与轴套间隙处的密封,此时实现了二重密封,提高了密封效果,最后通过密封罩与轴套直接的卡接可实现再次密封,密封效果好。通过密封罩与挡座的固定可提高密封罩与轴套之间的密封效果,实用性高,且密封座可进行单独更换,节省了成本,解决了在硅片切割过程中,伴随着大量的硅粉和水组成的固液混合物,硅粉混合物黏附性高,吸附在主轴表面后难以去除,进而影响了后续主轴的使用效果以及使用寿命的问题。

主权项:1.一种用于硅片切割主轴的三重密封轴端防护结构,其特征在于,包括:轴套1;所述轴套1转动连接有轴芯2;所述轴套1与轴芯2之间安装有一个第一密封块3,第一密封块3为金属材质,第一密封块3为环形结构,第一密封块3外壁与轴套1的内壁接触;所述轴套1上套接有一个密封罩4,密封罩4为圆柱形罩状结构,轴芯2穿过密封罩4;所述密封罩4内安装有一个环形结构的密封座5,密封座5与第一密封块3和轴套1的缝隙处接触。

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