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申请/专利权人：汪国娥
摘要：本实用新型公开了一种半导体制造设备，包括晶圆贴片机，所述晶圆贴片机的内部设置有电机，所述电机的输出端通过斜齿轮活动连接有蜗杆，所述蜗杆的表面啮合有蜗轮，所述蜗轮的内部固定连接有螺杆，所述蜗杆的底部通过轴承座与晶圆贴片机内壁的底部活动连接，所述螺杆的两侧通过轴承座与晶圆贴片机内壁的两侧活动连接。本实用新型通过启动电机，电机转动带动蜗杆转动，蜗杆转动带动蜗轮转动，蜗轮转动螺杆转动，螺杆转动带动螺套沿着稳定杆向内侧移动，同时支撑杆向内侧拉动，将支撑架沿着限位管上拉动，当支撑架离开地面，并且滚轮与地面接触时关闭电机，替代现有的移动方式，从而达到便于移动晶圆贴片机的效果。
主权项：1.一种半导体制造设备，包括晶圆贴片机1，其特征在于：所述晶圆贴片机1的内部设置有电机2，所述电机2的输出端通过斜齿轮活动连接有蜗杆3，所述蜗杆3的表面啮合有蜗轮4，所述蜗轮4的内部固定连接有螺杆5，所述蜗杆3的底部通过轴承座与晶圆贴片机1内壁的底部活动连接，所述螺杆5的两侧通过轴承座与晶圆贴片机1内壁的两侧活动连接，所述螺杆5的表面活动连接有螺套6，所述螺套6的底部通过轴销活动连接有支撑杆7，所述支撑杆7的底部通过轴销活动连接有支撑架8，所述支撑架8的两侧均固定连接有限位块9，所述晶圆贴片机1内壁的底部固定连接有限位管10，所述晶圆贴片机1的底部固定连接有滚轮11。
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