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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片规整装置，包括固定于机台上的滑动装置，所述滑动装置包括板体和开设于板体上的滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块顶部连接有规整杆，所述规整杆由柱形弹簧和软管组成，所述弹簧固定于软管内。相比现有技术，本实用新型的规整杆自身具有良好的形变能力，当硅片卡死于花篮上，且规整杆在与卡死的硅片接触后，其自身会发生形变，从而避免硅片受到太大的力而损坏，而后，人员可以单独的处理卡死的硅片，将其重新放入花篮中，本装置在对硅片进行规整时，可以避免卡死的硅片受力损坏，提高效益。
主权项：1.一种硅片规整装置，包括固定于机台（1）上的滑动装置，其特征在于：所述滑动装置包括板体（2）和开设于板体（2）上的滑槽（7），所述滑槽（7）内滑动连接有滑块（4），所述滑块（4）顶部连接有规整杆（5），所述规整杆（5）由柱形弹簧（502）和软管（501）组成，所述弹簧（502）固定于软管（501）内。
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百度查询： 淮安捷泰新能源科技有限公司 一种硅片规整装置
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